邵武華新化工有限公司

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電子級氫氟酸

 

狀:

分子式HF 分子量:20.01。

無色透明溶液,有強烈刺激性氣味,有毒,并有強烈的腐蝕性。

途:

電子化學品用于超大規模集成電路芯片,太陽能電池,LED和TFT-LCD面板制造過程的蝕刻和清洗,原子能工業化學試劑。

    產品標準:

項目

指    標

EL級

UP級

UP-S級

氫氟酸(HF), w/%

49.0-49.5

49.0-49.5

49.0-49.5

顆粒(≥ 0.5 μm ) 個/ml ≤

25

25

25

顆粒(≥ 0.3 μm ) 個/ml ≤

-

150

150

顆粒(≥ 0.2 μm) 個/ml ≤

-

300

300

    色度Color, 黑曾≤

10

10

10

    硅氟酸, H2SiF6 ppm ≤

100

20

20

    氯化物, Cl ppm ≤

5

5

0.5

    硝酸鹽, NO3 ppm ≤

3

3

0.3

    磷酸鹽, PO4 ppm ≤

1

1

0.1

    亞硫酸鹽, SO3 ppm ≤

5

2

0.2

    硫酸鹽, SO4 ppm≤

0.5

0.2

 

 

 

 

ppb

    鋅( Zn )

50

10

10

    鈉( Na )

200

10

1

    鎂( Mg )  

200

10

1

鉑( Pt ) 、鉀( K )、鈦( Ti)、

鋁( Al ) 、鉬( Mo ) 、鋇( Ba )

    鈣( Ca )、鐵( Fe )    

100

10

1

鉛( Pb ) 、砷( As ) 、鎘( Cd )

鎳( Ni )  

50

10

1

錫( Sn ) 、錳( Mn ) 、鉻( Cr )

鈷( Co )、銅( Cu ) 、鎵( Ga )

    鍺( Ge )           

20

10

1

    金( Au ) 、鈹( Be ) 、鉍( Bi )

    鋰( Li ) 、銀( Ag )             

20

5

1

    鍶( Sr ) 、鉈( Tl )

    銻( Sb ) 、礬( V )    

-

10

1